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Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.
Umfang: IX, 125 S.
Preis: €29.90 | £28.00 | $53.00
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Grund, T. 2010. Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren. Karlsruhe: KIT Scientific Publishing. DOI: https://doi.org/10.5445/KSP/1000016593
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Veröffentlicht am 1. Juni 2010
Deutsch
143
| Paperback | 978-3-86644-496-6 |