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In dieser Arbeit wurde eine auf einem Mikrospiegelarray basierende, maskenlose Lithographieanlage entwickelt und aufgebaut, mit welcher Einzelbilder nahtlos nebeneinander projiziert werden. Es wurden über Abformprozesse und direktlithographisch aus verschiedenen Polymeren cm² große Mikrofluidikchips mit 50 µm Kanälen in wenigen Stunden hergestellt. Zudem wurden biochemische Ligandenmuster in 256 verschiedenen Dichtegraden in wenigen Sekunden auf 5 mm² Fläche mit wenige µm großen Pixeln erzeugt.
In this work, a maskless lithography device based on a micro-mirror array was designed and built. Single projection frames are seamlessly projected next to each other. Microfluidic chips of several cm² size comprising channels of 50 µm have been built of various polymers via direct lithography and casting. Also, bio-chemical ligand patterns comprising 256 different ligand densities have been created in a few seconds on a 5 mm² substrate with pixel sizes of a few µm.
Umfang: XVI, 133 S.
Preis: €40.00 | £37.00 | $70.00
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Waldbaur, A. 2013. Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung. Karlsruhe: KIT Scientific Publishing. DOI: https://doi.org/10.5445/KSP/1000036845
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Veröffentlicht am 28. November 2013
Deutsch
163
| Paperback | 978-3-7315-0119-0 |