Modulares Ringlicht fuer photometrischeAnalyse von Mikrostrukturoberflaechen

Die Analyse von mikrostrukturierten
Oberfl¨achen erfordert praktische Analysetools. In diesem Beitrag
stellen wir ein modulares Ringlicht vor, welches in einem
Mikroskopaufbau integriert wird. Beide Ger¨ate sind miteinander
synchronisiert und werden durch einen Strobe-Controller
angesteuert. Das Ringlicht besteht aus sechs individuell ansteuerbaren
Lichtquellen, die eine Oberfl¨ache aus unterschiedlichen
Winkeln beleuchten. Das verbessert die Sichtbarkeit
von Mikrostrukturen / Defekten und erm¨oglicht weitere Analysen
mittels Photometrischen Stereo Algorithmen. Das modulare
Design erm¨oglicht einfaches Tauschen von Lichtquellen
und beispielsweise die Verwendung von Lichtquellen unterschiedlicherWellenl
¨ange. Diese Flexibilit¨at macht das Ringlicht
zu einem praktischen Analysetool f ¨ ur unterschiedliche
Materialien. In diesem Beitrag wird die Konstruktion und das
optische Design beschrieben und validiert. Zus¨atzlich zeigen
wir Aufnahmen und photometrische Auswertungen von mikrostrukturierten
Oberfl¨achen.